氦质谱检漏仪的工作原理

今天科仪创新的小编和大家分享的是氦质谱检漏仪的工作原理，希望对您有所帮助！

氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器对其示漏气体氦气有响应信号，而对其他气体没有响应，从而检漏。氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。

什么是氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪品牌浅析什么是氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪可靠的品质保证广泛的市场应用，此款氦质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款氦质谱检漏仪坚固耐用，抗震性能极强，可反复使用数年仍保证的检漏漏率。氦质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。氦质谱检漏仪的环境条件氦质谱检漏仪是现在比较常用的仪器，今天科仪创新的小编就和大家来说一下，氦质谱检漏仪的使用环境条件有哪些，希望对您有所帮助。氦质谱检漏仪主要特点：前级泵配备抽速高达15 m3/h 旋片泵，对氦气抽速可达 2.5l/s，氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的蕞小检测漏率：

真空模式：5 · 10-13 Pa m3/s

吸枪的模式：5 · 10-10 Pa m3/s

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氦质谱检漏仪的检漏方式有那些

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。

逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。什么是氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪品牌浅析什么是氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪可靠的品质保证广泛的市场应用，此款氦质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。

氦质谱检漏仪逆扩散原理

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达1000Pa（一般常规检漏仪为0.05Pa以下），适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。

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氦气检漏

氦质谱检漏的检测精度高，可达到1×10-7Pa·m3/s。电池氦检前先将电池里的空气抽掉，然后注入氦气，用氦质谱检漏仪探测有没有氦气漏出，从而判断电池的气密性是否完好。电池氦检一般为两种方式：一种是在电池生产的中间环节，即在电池烘干注液之前进行检漏，电芯在真空箱内充氦气及检测，此法可以检测电池盖板、盖板焊接及电芯壳体等部位的气密性是否达标；热管检漏方法：该企业热管出厂前标准漏率合格线是E-8mbarl/s，使用氦质谱检漏仪检漏时，设定E-8为报警值，当漏率低于该值时产品是合格的，当漏率高于此值，检漏仪发出声光警报，说明产品有漏。另一种是在成品环节检漏，电芯在箱外充氦，电芯注入电解液的同时将氦气充入电芯内部，然后将电池放入真空箱内进行检漏。

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